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特气柜(GC)

发表时间:2013-05-24 11:05:03

 

特气柜尺寸:
800mm长×540mm宽×1800mm高
 
控制柜尺寸:
800mm长×230mm宽×320mm高 
 
特气柜参数:
PN2入口压力:80PSI,1/4 MALE VCR接口
GN2入口压力:80PSI,1/4 MALE VCR接口
CDA入口压力:4-10bar,1/4卡套接口
VENT出口:1/2VCR接口
工艺气体出口:两路1/4 MALE VCR接口
特气柜柜体换气量 SiH4-1200次/小时,其余300次/小时
电源:220V(半自动)    
防爆玻璃观察窗:标配
 
按瓶数分类:单瓶柜(架)/二瓶柜(架)
按操作方式分类:手动、半自动。

产品优势:
气路配件,接头、阀门等全部是进口电子级材料,管道为316L,自动轨道焊接。
气路设计合理完善,工作管路具备抽空、回充、压力指示等功能,气瓶柜留有排气口,并具有负压检测。根据实际需要可安装称重、加热等装置。
气瓶柜箱体采用安全设计,所选用的材料适用于各种不同性质的气体,美观,紧凑,安全,质优价廉,可按照客户要求定制。
完善的安全报警装置,具有气体泄漏检测报警(如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警)报警信号被触发时,自动切断。
交货期短,常用配件备有大量库存。
完善的售前、售后服务,赢得客户认可。例如,清华大学,北京大学,中科院半导体所等。
 
产品应用:可以为 MOCVD、PECVD、刻蚀机等设备配套,应用于半导体、太阳能电池、生物工程、微电子等行业。